スタティックな設定電圧電極のアクチャル値を正確にモニターするには少なくとも設定に使用する DA コンバータの2倍のビット分解能が必要である。
前出の設定精度 1V, 0 — 5000V を設定する電極の場合、5000V をバイナリコード 50,000 と対応させることで 0.1V LSB 分解能となっている。したがって、DA 同様 16bit AD コンバータを用いることで設定精度の 2 倍を超える 0.1V LSB でモニタができるため装置の仕様として十分である。しかしながら、ソフトウエアの誤りによって 50000 を出力すべきところを 49999 と出力した場合その誤りを確実に検出するためには 17bit AD の分解能が必要である。